本報記者 施露

    10月29日晚間，萬業企業披露2021年三季度報告。公告顯示，公司1-9月實現營業收入6.46億元，同比增長14.60%；實現歸屬于上市公司股東的凈利潤3.06億元，同比增長37.17%；研發投入同比增長757%。

    近年來，公司通過自主研發與外延式并購雙輪驅動，扎實推動自身快速向集成電路產業領域轉型，在先后收購凱世通及CompartSystems之后，加速完成在半導體設備和材料領域的戰略布局。

    2018年，萬業企業率先收購凱世通，成為全球少數掌握全領域離子注入機核心設備技術的高科技企業。今年5月，萬業企業旗下的凱世通低能大束流離子注入機率先在國內12英寸主流集成電路芯片制造廠完成設備驗證驗收工作。這也是國產首臺完成主流客戶驗證并確認收入的國產低能大束流設備，標志著國產化設備在成熟工藝這一重大技術領域取得商用化突破。

    同時，凱世通重金屬離子注入機和超低溫大束流離子注入機也完成客戶交付，高能離子注入機設備按客戶交付計劃進行組裝，并且公司還與國內另一家12英寸芯片制造廠分別簽署了1臺低能大束流超低溫離子注入機和1臺高能離子注入機訂單。

    目前，全球半導體市場芯片供應緊張、芯片需求爆發，晶圓廠商紛紛加大資本開支進行擴產。據集微咨詢數據，目前大陸地區晶圓廠現有產能折合8寸約162萬片/月，總規劃產能折合8寸為462萬片/月，潛在擴產產能折合8寸達到300萬片/月。從2021年來看，預計今年新增產能折合8寸64萬片/月，未來幾年晶圓廠擴產加之先進制程升級趨勢，這必將為設備廠商帶來廣闊的成長空間，國產替代是當前國內晶圓廠的主要考慮。

    根據《中國制造2025》的規劃，2025年半導體核心基礎零部件、關鍵基礎材料應實現70%的自主保障。隨著國內晶圓產能的快速增長帶動國產設備需求大增，凱世通的離子注入機作為半導體制造的核心設備之一，有望受益于行業景氣上行，市場發展潛力相當巨大。

    除了投入自研和收購外，萬業企業還通過投資產業資金，進一步助力本土半導體的突破。

    2018年，萬業企業已入股上海集成電路裝備材料產業投資基金，該基金涉及的項目有新加坡STI、飛凱材料、上海精測、江蘇長晶、華卓精科、翱捷科技、九天真空等一系列優秀企業。

    據公開信息顯示，上海集成電路裝備材料產業投資基金投資項目華卓精科已于今年9月首發通過，即將登陸上交所科創板上市。這是繼集成電路設計領先企業翱捷科技科創板IPO過會后，半導體裝備材料基金收獲的第2家企業。

（編輯 田冬）